現代無塵室是由美國物理學家威利斯·惠特菲爾德發明的?；萏胤茽柕伦鳛樯５蟻唶?a data-mid="62" href="http://www.jnpfgl.cn/a/4845.html">實驗室的雇員，于1966年為無塵室設計了最初的設計方案。在惠特菲爾德發明之前，早期的無塵室經常遇到顆粒和不可預測的氣流的問題。Whitfield設計的無塵室具有恒定的且經過嚴格過濾的氣流來保持空間內的潔凈。

硅谷的大部分集成電路制造設施由三家公司制造:MicroAire，PureAire和Key Plastics。他們制造了層流裝置，手套箱，潔凈室和空氣淋浴器，以及用于集成電路“濕法工藝”建造的化學罐和工作臺。這三家公司也是將特氟龍用于氣槍，化學泵，洗滌器，水槍和其他集成電路生產所需設備的先驅。William（Bill）C.McElroy Jr.曾擔任三家公司的工程經理，制圖室主管，QA/QC和設計師，他的設計為當時的技術增加了45項原始專利。